(水質(zhì)符合美國(guó)ASTM標(biāo)準(zhǔn),電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級(jí))
典型超純水工藝:
●預(yù)處理-一級(jí)反滲透-RO水箱--=-增壓泵----混床系統(tǒng)-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象
●預(yù)處理-二級(jí)反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象
●預(yù)處理-二級(jí)反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象
應(yīng)用場(chǎng)合
· 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
· 超純材料和超純化學(xué)試劑;
· 實(shí)驗(yàn)室和中試車(chē)間
· 汽車(chē)、家電表面拋光處理;
· 其他高科技精微產(chǎn)品。
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