(水質符合美國ASTM標準，電子部超純水水質標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
典型超純水工藝：
●預處理－一級反滲透－RO水箱--=-增壓泵----混床系統(tǒng)－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象
●預處理－二級反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象
●預處理－二級反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象

 

應用場合
· 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路；
· 超純材料和超純化學試劑；
· 實驗室和中試車間
· 汽車、家電表面拋光處理；
· 其他高科技精微產品。